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四主軸多線切割機(jī)解決方案

精度更高、排線穩(wěn)定、操作方便

多線切割機(jī)是IC(集成電路)、IT(信息技術(shù))、PV(光伏)等行業(yè)核心器件基片制造流程中的關(guān)鍵裝備,具有效率高,產(chǎn)能高,精度高等優(yōu)點(diǎn),是目前采用最廣泛的硬脆材料切割設(shè)備。

行業(yè)背景

多線切割機(jī)是IC(集成電路)、IT(信息技術(shù))、PV(光伏)等行業(yè)核心器件基片制造流程中的關(guān)鍵裝備。多線切割是目前最先進(jìn)的切片加工技術(shù),它不同于傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片等切割方式,也不同于激光切割和內(nèi)圓切割,它的原理是金剛砂線在主羅拉上形成一張線網(wǎng),通過高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)對(duì)材料進(jìn)行切割,將待切材料同時(shí)切割為數(shù)百或數(shù)千片薄片的切片工藝。多線切割技術(shù)具有效率高,產(chǎn)能高,精度高等優(yōu)點(diǎn),是目前采用最廣泛的硬脆材料切割技術(shù)。

系統(tǒng)原理

四主軸瓦片方案采用四個(gè)主軸模糊PID控制,保證四個(gè)主軸之間轉(zhuǎn)矩穩(wěn)定。收放線通過收放線擺桿反饋PID控制,保證擺桿角度穩(wěn)定和線上張力穩(wěn)定。收放線擺桿使用總線轉(zhuǎn)矩模式,可以方便有效的修改線上張力,同時(shí)與張力傳感器做閉環(huán)控制。保證線上張力穩(wěn)定。工作臺(tái)采用配方方案,滿足客戶不同材料的加工。同時(shí)支持直片瓦片切換,方便客戶加工瓦片直片需求。瓦片支持單段補(bǔ)償,切割精度更高。

工藝流程

系統(tǒng)拓?fù)?/h3>

方案優(yōu)勢(shì)

減少機(jī)械傳動(dòng),方便耐用

使用四主軸功能,減少機(jī)械傳動(dòng),設(shè)備安裝方便,不需要傳送帶傳動(dòng),使用壽命更長(zhǎng)。

控制精度更高

使用EtherCAT通訊,通訊周期1ms,擺桿與主軸轉(zhuǎn)矩控制精度更高。

精密排線

排線采用精密排線,放線排線采用自動(dòng)糾偏:保證排線的穩(wěn)定,避免排線導(dǎo)致的斷線。

多組方案靈活切換

工作臺(tái)提供多組方案,靈活切換瓦片直片,瓦片可分段補(bǔ)償,精度更高。

斷線報(bào)警采集

斷線報(bào)警采集功能,當(dāng)發(fā)生報(bào)警時(shí),客戶可以根據(jù)報(bào)警時(shí)數(shù)據(jù)信號(hào),分析斷線原因。

張力控制精度高

收放線通過算法加模糊PID控制,張力控制精度更高。

閉環(huán)控制更穩(wěn)定

四主軸通過轉(zhuǎn)矩反饋,閉環(huán)控制,使四主軸轉(zhuǎn)矩更穩(wěn)定。

參數(shù)一鍵上下載

觸摸屏可以一鍵上載、下載伺服參數(shù),操作更方便。